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晶粒六面检设备(Wafer to wafer) CFW910-C

CFW910-C是一款高端晶粒六面检设备,它最小可以支持0.2mm的晶粒, 上料支持6/8/寸UV膜,下料支持UV膜/华夫盒,采用诚锋自研的明暗场光源和自动对焦成像系统,可实现达1um的图像分辨率,可检测3um的细小裂纹。

它可支持硅电容/芯片晶粒等产品。


CFW910-C

具体参数/规格

√ 晶粒尺寸:0.17mm~3mm

√ 上料:6寸/8寸 UV膜

√ 下料模式:华夫盒/UV膜

√ 分辨率:1um(六面全检)

√ 可检测最小裂纹:3um

√ UPH: 2k(0.25mm晶粒的数据)