晶圆封测光学量检测设备系列

珠海诚锋电子科技有限公司成立于2015年,总部位于珠海,公司在苏州、合肥、上海、北京、深圳、成都、武汉、长沙、泰国、新加坡等国内外设立分公司及办事处。

诚锋科技专注于半导体光学检测设备的研发、生产和销售,具有完全自主知识产权,目前已掌握了多套光学显微成像技术,全栈掌握并积累了多年的D2B/D2D/GDD等核心图形检测算法,在晶圆制造和掩模版制造领域都已推出多个量产机型,全方位助力半导体行业的制程监控和良率提升。

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晶粒六面检设备(Wafer to wafer) CFW910-C
晶圆封测光学量检测设备系列

CFW910-C是一款高端晶粒六面检设备,它最小可以支持0.2mm的晶粒, 上料支持6/8/寸UV膜,下料支持UV膜/华夫盒,采用诚锋自研的明暗场光源和自动对焦成像系统,可实现达1um的图像分辨率,可检测3um的细小裂纹。

它可支持硅电容/芯片晶粒等产品。


CFW910-C

具体参数/规格

√ 晶粒尺寸:0.17mm~3mm

√ 上料:6寸/8寸 UV膜

√ 下料模式:华夫盒/UV膜

√ 分辨率:1um(六面全检)

√ 可检测最小裂纹:3um

√ UPH: 2k(0.25mm晶粒的数据)

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高速晶粒翻转设备 CF971
晶圆封测光学量检测设备系列

CF971是一款高速高精度晶粒翻转设备,它最小可以支持0.3mm的晶粒,上料支持6/8寸UV膜,下料支持UV膜/Gelpak盒,可支持晶粒90度/180度/270度翻转。

它可支持硅电容/芯片晶粒等产品,拥有大幅度领先业界的UPH产能。


CF971

具体参数/规格

√ 晶粒尺寸:0.3mm~5mm

√ 上料:6寸/8寸 UV膜

√ 下料模式:Gelpak盒/UV膜

√ 下料精度:正负25微米

√ UPH: 2k(0.3mm晶粒的数据)

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