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全自动红外穿透套刻量测设备 CFW520

CFW520是一款高性能,高分辨率的全自动红外穿透套刻(OVL)量测设备,它支持硅基晶圆,支持6寸/8/寸/12寸晶圆,设备配置有Load/Unload模块,自动对焦模块,自动量测软件。


CFW520

具体参数/规格

√ 波长:1050~1700nm

√ 穿透范围:0~800um

√ 物镜倍率:5X/10X/20X

√ 物镜:2.5X/5X/10X

√ 对焦模式:自动对焦

√ Load/Unload:支持