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光模块金线AOI设备—CF915
DA芯片全检测AOI设备—CF916
光模块PCBA AOI设备—CF917
光模块成品AOI设备—CF918
光模块COB基板AOI设备—CF912
光模块COC芯片全检测AOI设备—CF913
服务支持
晶圆制造商 应用场景: CMP/OQC/ADI/AEI/CMP制程控制
掩模版制造厂 应用场景: MBB区Particle/Pinhole检测 图形检测(D2DB) ADI/AEI Particle/Pinhole检测 Blank检测 (基板/镀铬/涂胶) Maskshop/FAB Reticle图形缺陷检测
光模块制造厂 应用场景: 800G/1.6T光模块制造
封测工厂 应用场景: 硅电容/芯片晶粒 电容、磁芯、电感 引线框架
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CFW921是一款高规格的FAB前道纳米图形检测设备,可对标国外竞品Kxx的机台,它配备了双TDI传感器,可实现明暗场同步成像,一次扫描可同时采集检测明场和暗场的图像,可扫描检出更多的瑕疵,它适用于FAB前道的ADI/AEI/CMP等多个工艺站。
它可满足瑕疵高灵敏度和高检出率的应用场合。
CFW921
具体参数/规格
√ 传感器:TDI
√ 光路:明暗场同步成像
√ 物镜倍率:5X/10X/20X
√ 分辨率(BF):0.2um
√ 分辨率(DF):0.15um