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CFW821是一款高规格的FAB前道图形检测设备，可对标国外竞品Kxx的89xx机台，它配备了双TDI传感器，可实现明暗场同步成像，一次扫描可同时采集检测明场和暗场的图像，可扫描检出更多的瑕疵，它适用于FAB前道的ADI/AEI/CMP等多个工艺站，能够帮助客户快速筛选产线上影响产品质量的典型图形缺陷和表面缺陷，确保各种工艺稳定运行。
它可满足高吞吐率和瑕疵高检出率的应用场合。
CFW821 | |
具体参数/规格 | √ 传感器：TDI |
√ 光路：明暗场同步成像 | |
√ 物镜倍率：1X/2X/5X | |
√ 分辨率（BF）：1.0um | |
√ 分辨率（DF）：0.7um | |
√ WPH：100 | |