FAB纳米图形光学检测设备
珠海诚锋电子科技有限公司成立于2015年，总部位于珠海，公司在苏州、合肥、上海、北京、深圳、成都、武汉、厦门、绍兴、泰国、新加坡等国内外设立分公司及办事处。专注于半导体光学视觉检测设备的研发、生产和销售，具有完全自主知识产权，为半导体行业提供全方位的制造良率控制的光学检测解决方案。现有FAB前段缺陷监控CFW820系列、FAB前段工艺控制CFW920系列、后段工艺光学检测CFW380系列及红外检测CFW680系列等多款纳米图形晶圆检测设备。
光学成像技术：明暗场复合光路、透明晶圆成像、荧光光路成像、红外穿透成像。
适用领域：FAB前段工艺控制、后段工艺检测
应用：ADI/AEI/PostCMP/OQC ，先进封装/切割后/扩膜后
5in1多功能：
晶面检测，背面检测，边缘检测，wafer翘曲度量测，wafer厚度量测
Wafer handling: Standard wafer/Taiko/Thin wafer
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CFW820是一款用于FAB产线缺陷监控的光学检测设备，应用在ADI/AEI/Post CMP/OQC等多个工艺阶段，能够帮助客户快速筛选产线上影响产品质量的典型图形缺陷和表面缺陷，确保各种工艺稳定运行。拥有超高的wafer传输兼容性，及5合1检测功能，配置多种光学放大倍率，具备双通道检测能力，能够兼顾灵敏度和吞吐率，搭配灵活易用的recipe 管理功能，基于深度学习的ADC算法，助力客户产线稳定运行。
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| 晶面检测 | 背面检测 | 边缘检测 | 翘曲度量测 | 厚度量测 |
CFW820 | |
应用场景 | ADI/AEI/Post CMP/OQC |
晶圆尺寸 | √ 支持 12"/8"/6" wafer |
√ 12寸薄片支持:Taiko wafer中心薄至75um | |
√ 12寸Thin wafer薄至130um | |
设备功能 (超高兼容性) | √ 兼容 Taiko/Thin/Standard wafer |
√ 支持各种减薄工艺 | |
√ 伯努利fork支持翻转功能(可选) | |
√ Throughput and sensitivity对标国外友商-双通道检测 | |
√ ADC自动缺陷分类-基于深度学习 | |
设备特点 | 大缺陷快速筛选 |
