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CFY401 是应用在 MaskShop 生产过程检和出货检的UV Reticle检测设备，诚锋的光罩检测技术可帮助光罩制造商识别光罩particle缺陷和图形缺陷。CFY401 支持多种检测模式，支持SMIF自动上下料和高速运动载台，既可以满足检测稳定性和产能需求，也可以满足超高洁净度要求，从而帮助客户提升良率。
Particle检测：贴膜前，最高分辨率可做到0.13um
图形检测：最高分辨率可做到0.13um
CFY401 | |
具体参数/规格 | √ 光路：透射/反射/散射 |
√ 算法：D2B/D2D | |
√ 分辨率：0.13um | |