掩模版制造光学量检测设备系列
珠海诚锋电子科技有限公司成立于2015年，总部位于珠海，公司在苏州、合肥、上海、北京、深圳、成都、武汉、长沙、泰国、新加坡等国内外设立分公司及办事处。
诚锋科技专注于半导体光学检测设备的研发、生产和销售，具有完全自主知识产权，目前已掌握了多套光学显微成像技术，全栈掌握并积累了多年的D2B/D2D/GDD等核心图形检测算法，在晶圆制造和掩模版制造领域都已推出多个量产机型，全方位助力半导体行业的制程监控和良率提升。
珠海诚锋电子科技有限公司成立于2015年，总部位于珠海，公司在苏州、合肥、上海、北京、深圳、成都、武汉、长沙、泰国、新加坡等国内外设立分公司及办事处。
诚锋科技专注于半导体光学检测设备的研发、生产和销售，具有完全自主知识产权，目前已掌握了多套光学显微成像技术，全栈掌握并积累了多年的D2B/D2D/GDD等核心图形检测算法，在晶圆制造和掩模版制造领域都已推出多个量产机型，全方位助力半导体行业的制程监控和良率提升。
CFY210 是应用在 MaskShop 生产过程检和出货检的AOI设备，诚锋的光罩检测技术可帮助光罩制造商识别光罩particle缺陷和图形缺陷。CFY210 支持多种检测模式，支持SMIF自动上下料和高速运动载台，既可以满足检测稳定性和产能需求，也可以满足超高洁净度要求，从而帮助客户提升良率。
Particle检测：贴膜前，最高分辨率可做到0.2um
图形检测：支持核心区域和外围区域，最高分辨率可做到0.2um
CFY210 | |
具体参数/规格 | √ 光路：透射/反射/散射 |
√ 算法：D2B/D2D | |
√ 分辨率：0.2um | |
CFY401 是应用在 MaskShop 生产过程检和出货检的UV Reticle检测设备，诚锋的光罩检测技术可帮助光罩制造商识别光罩particle缺陷和图形缺陷。CFY401 支持多种检测模式，支持SMIF自动上下料和高速运动载台，既可以满足检测稳定性和产能需求，也可以满足超高洁净度要求，从而帮助客户提升良率。
Particle检测：贴膜前，最高分辨率可做到0.13um
图形检测：最高分辨率可做到0.13um
CFY401 | |
具体参数/规格 | √ 光路：透射/反射/散射 |
√ 算法：D2B/D2D | |
√ 分辨率：0.13um | |